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ウエハプロセス洗浄剤 PK-CLRシリーズ
水晶基板などのウエハ研磨後の研磨剤除去を目的として開発。
特殊界面活性剤及び無機物の除去性に効果の高い添加剤を配合することにより、研磨剤の除去性・再付着防止性に優れる。
製品名 |
タイプ | 特長 |
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PK-CLR2010 | 無機系アルカリ | 無機系スタンダードタイプ 研磨剤及び有機物の除去に優れる。 |
PK-CLR2110 | 無機系アルカリ | 無機系高性能タイプ 特に研磨剤の除去に優れる。 |
PK-CLR4040 | 有機系アルカリ | 有機系スタンダードタイプ 研磨剤の除去に優れる、低発泡性。 |
研磨剤洗浄試験例
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洗浄前
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洗浄後