包装工序用药液 |parkem(パーケム)株式会社パーカーコーポレーション

包装工序用药液

包装工序用药液 内容物

最优匹配半导体、电子器件包装工序的专用药液系列产品。
可对应TGV(Through-Glass Via)构造等先进包装技术。
通过表面处理(附着性提高剂)将成分吸附在基板表面,由配方设计提升与各种材料膜的附着性。
对应要求高精度、高可靠性的细微加工工艺。
产品构成考虑到了与玻璃、树脂、金属等多种基材的匹配性。

【TGV玻璃洗净剂】

产品名称 类型 特长
PK-LCG255 无机碱性 适用于玻璃中介层和封装用玻璃芯基板
可清洗微小TGV内部
洗涤性良好
对小颗粒、缓冲材料等各种污垢的效果好
对去除TGV内残留的刻蚀残渣有良好效果
可在不使玻璃表面变粗糙的情况下洗净
可改善因污渍导致的气泡等电镀不良及绝缘膜附着性下降等问题
通过玻璃表面的洁净化,可改善电镀液等向TGV内的渗透性
PK-LCG415 有机系碱性

TGV玻璃洗净性的比较

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洗净后电镀的比较

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【附着性提高剂】

产品名称 外观 特长
PK-STA5041 液体 增强Al或Si晶片、玻璃等材料与光刻胶、聚酰亚胺、积层薄膜的附着力
可对应旋涂、浸涂等多种涂布方法
附着层的膜厚为数nm左右
无需加热处理
替代HMDS
可常温保管

提升附着性的机制

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在基板表面吸附提高附着性的成分,提升与树脂膜之间的附着性。

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