パッケージングプロセス用薬液｜parkem（パーケム）株式会社パーカーコーポレーション

半導体・電子部品のパッケージング工程に最適化された専用薬液ラインナップ。

TGV（Through-Glass Via）構造など先端パッケージ技術に対応。

表面処理(密着性向上剤)で基板表面に成分を吸着させ、各種材料膜との密着性を高める処方設計。

高精度・高信頼性を要求される微細加工プロセスに対応。

ガラス・樹脂・金属など多様な基材との相性を考慮した製品構成。

製品名	タイプ	特長
PK-LCG255	無機系アルカリ	ガラスインターポーザーやパッケージ用ガラスコア基板に適用可微細なTGV内を洗浄可リンス性良好パーティクル・緩衝材など様々な汚れに効果大 TGV内に残留したエッチング残渣の除去に効果有りガラス表面を粗化することなく洗浄が可能汚れによるボイドなどのめっき不良や絶縁膜の密着力低下などを改善ガラス表面の清浄化により、TGV内へのめっき液などの浸透性を改善
PK-LCG415	有機系アルカリ

製品名	外観	特長
PK-STA5041	液体	AlやSiウェハ、ガラスなどと、レジストやポリイミド、ビルドアップフィルムの密着力を強化スピンコートやディップコートなどの様々な塗布方法に対応可密着層の膜厚は数nm程度加熱処理が不要 HMDSの代替常温保管可能

基板表面に密着性向上成分が吸着し、樹脂膜との密着性を向上させます。

パッケージングプロセス用薬液 ｜parkem（パーケム）株式会社パーカーコーポレーション