現像液・剥離液｜parkem（パーケム）株式会社パーカーコーポレーション

【現像液】 PK-DEXシリーズ

高精細パターニングに適し、広い現像マージンを有している。

レジストの分散性と再凝集防止性に優れ、レジストの再付着がなく、ロングライフ化が可能。

低発泡性で泡によるトラブルがない。

PK-DEX4000シリーズはアルミニウム、銅にも適用可能。

製品名	タイプ	特長
PK-DEX1010CX	Na2CO3系	ネガ型カラーレジスト用液寿命に優れ、高精細パターニングが可能
PK-DEX1510	KOH系	ネガ型カラーレジスト用低濃度使用で良好な現像性
PK-DEX4000	有機系アルカリ	ネガ型、ポジ型に優れた現像性 Al、Cuにも適用可
PK-DEX4020	有機系アルカリ	リフトオフレジスト対応現像液 Al、Cuにも適用可
PK-DEX4050	有機系アルカリ	ネガ型、ポジ型に優れた現像性 Al、Cu、AlNにも適用可
PK-DEX4310	有機系アルカリ	ネガ型、ポジ型に優れた現像性 Al、Cuにも適用可水希釈タイプ

臭気がマイルドで作業環境の改善に役立つ。

レジストの分散性と再凝集防止性に優れ、レジストの再付着がない。

PK-SFR8130はドライフィルムレジスト専用剥離液。

製品名	タイプ	特長
PK-SFR8110	有機系アルカリ	スタンダードタイプ Al、Cuに適用可水希釈タイプ、引火性無し
PK-SFR8120	有機系中性	作業環境に優しい中性 Al、Cuに適用可水希釈タイプ、引火性無し
PK-SFR8130	有機系アルカリ	ドライフィルムレジスト専用　 Al、Cuに適用可水希釈タイプ、引火性無し
PK-SFR8200	有機系アルカリ	ドライフィルムレジスト微細剥離用強力な剥離性水希釈タイプ、引火性無し
PK-SFR8410	有機系アルカリ	厚膜ネガレジストに対応
PK-CRD620	無機系アルカリ	強力な剥離性ポジ型レジストに最適