太陽電池製造プロセス洗浄剤|parkem(パーケム)株式会社パーカーコーポレーション

太陽電池製造プロセス洗浄剤    PK-PVS/PVE/PVXシリーズ 

【シリコンインゴットスライシング後洗浄剤】 PK-PVSシリーズ

水溶性タイプでコスト低減。
切削油の乳化・分散に優れ、効果的な洗浄が可能。
切屑、砥粒の洗浄性に優れている。
ウエハへのダメージが少ない。
製品名 タイプ 用途 特長
PK-PVS606 無機系アルカリ
スラリー洗浄 弱アルカリ性タイプ
浸透力大。
PK-PVS612N 有機系中性 スラリー洗浄 基板へのダメージ少ない。
PK-PVS604G 無機系アルカリ 仕上げ洗浄 スタンダードタイプ。
PK-PVS615 無機系アルカリ 仕上げ洗浄 リンス性良好。

水溶性切削液洗浄例

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    洗浄前

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    PK- PVS612N 粗洗後

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    PK-PVS604G 仕上げ洗浄後

油性切削液洗浄例

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    洗浄前

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    PK- PVS612N 粗洗後

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    PK-PVS615 仕上げ洗浄後

【結晶系ウエハテクスチャー形成前洗浄剤】 PK-PVEシリーズ

均一なテクスチャーの形成に有効。
洗浄性、リンス性に優れている。
水溶性タイプでコスト低減。
製品名 タイプ 用途 特長
PK-PVE100 有機系アルカリ ウエハテクスチャー
形成前洗浄
低発泡でリンス性良好。
PK-PVE120 有機系アルカリ ウエハテクスチャー
形成前洗浄
有機物の除去性に優れ
ハードな汚れに効果大。
PK-PVE130M 無機系アルカリ ウエハテクスチャー
形成前洗浄
グローブ跡等の除去性に効果大。

PK-PVE100洗浄効果

    洗浄あり 洗浄なし
Wafer
SEM(×1000)

【テクスチャーエッチング添加剤】 PK-PVX501

単結晶シリコンに適用可。
IPAの代替添加剤として使用可能。
極めて揮発性が低い為、IPA法では必要不可欠な補給の手間を削減可能。
固定砥粒方式と遊離砥粒方式いずれのウェハにも使用可能。

PK-PVX501+KOH (SEM ×1000)

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