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太陽電池製造プロセス洗浄剤 PK-PVS/PVE/PVXシリーズ
太陽電池製造プロセス洗浄剤 コンテンツ
【シリコンインゴットスライシング後洗浄剤】 PK-PVSシリーズ
水溶性タイプでコスト低減。
切削油の乳化・分散に優れ、効果的な洗浄が可能。
切屑、砥粒の洗浄性に優れている。
ウエハへのダメージが少ない。
| 製品名 | タイプ | 用途 | 特長 |
|---|---|---|---|
| PK-PVS606 | 無機系アルカリ |
スラリー洗浄 | 弱アルカリ性タイプ 浸透力大。 |
| PK-PVS612N | 有機系中性 | スラリー洗浄 | 基板へのダメージ少ない。 |
| PK-PVS604G | 無機系アルカリ | 仕上げ洗浄 | スタンダードタイプ。 |
| PK-PVS615 | 無機系アルカリ | 仕上げ洗浄 | リンス性良好。 |
水溶性切削液洗浄例
洗浄前
PK- PVS612N 粗洗後
PK-PVS604G 仕上げ洗浄後
油性切削液洗浄例
洗浄前
PK- PVS612N 粗洗後
PK-PVS615 仕上げ洗浄後
【結晶系ウエハテクスチャー形成前洗浄剤】 PK-PVEシリーズ
均一なテクスチャーの形成に有効。
洗浄性、リンス性に優れている。
水溶性タイプでコスト低減。
| 製品名 | タイプ | 用途 | 特長 |
|---|---|---|---|
| PK-PVE100 | 有機系アルカリ | ウエハテクスチャー 形成前洗浄 |
低発泡でリンス性良好。 |
| PK-PVE120 | 有機系アルカリ | ウエハテクスチャー 形成前洗浄 |
有機物の除去性に優れ ハードな汚れに効果大。 |
| PK-PVE130M | 無機系アルカリ | ウエハテクスチャー 形成前洗浄 |
グローブ跡等の除去性に効果大。 |
PK-PVE100洗浄効果
| 洗浄あり | 洗浄なし | |
|---|---|---|
| Wafer |  |
 |
| SEM(×1000) |  |
 |
【テクスチャーエッチング添加剤】 PK-PVX501
単結晶シリコンに適用可。
IPAの代替添加剤として使用可能。
極めて揮発性が低い為、IPA法では必要不可欠な補給の手間を削減可能。
固定砥粒方式と遊離砥粒方式いずれのウェハにも使用可能。
PK-PVX501+KOH (SEM ×1000)
